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krosaki半導(dǎo)體制造設(shè)備用光學(xué)鏡NEXCERA®
NEXCERA ®是一種熱膨脹系數(shù)與低熱膨脹玻璃相當(dāng)且剛性高的材料。
主要用作半導(dǎo)體制造設(shè)備、坐標(biāo)測量機(jī)、望遠(yuǎn)鏡等的反射鏡。
●熱膨脹系數(shù)與低膨脹玻璃相當(dāng)
●可實(shí)現(xiàn)精密鏡面加工
●高的穩(wěn)定性（熱/時間）
●重量輕、剛性高
●自擴(kuò)散接合無需接合劑即可接合
薄筋結(jié)構(gòu)
（筋厚度：3mm）
蓋板粘合（自擴(kuò)散粘合）+精密鏡面加工
箱體結(jié)構(gòu)（鏡面）
Φ340×70mm
平坦度 36nm < λ/10
表面粗糙度：Ra 0.36nm，PV 32nm
?陶瓷直接接觸并加壓加熱，使構(gòu)成元素?cái)U(kuò)散而接合的方法。
?無需使用粘接劑即可接合。
薄筋結(jié)構(gòu)
（筋厚度：3mm）
蓋子接頭
箱體結(jié)構(gòu)（鏡面）
Φ340×70mm
聯(lián)合剖面照片
●熱循環(huán)
(RT?-20℃(11h)?+60℃(11h)?RT)×4次
●
NEXCERA® （ N117B）鏡面/薄肋接合結(jié)構(gòu) 示例
樣品尺寸： φ340mm
<熱循環(huán)前> 平面度：0.058μm
<熱循環(huán)后>平面度：0.060μm
溫度循環(huán)前后的平整度變化在設(shè)備誤差范圍內(nèi)
， 形狀輪廓幾乎保持不變。
熱循環(huán)引起的滯后非常小。
NEXCERA ®是一種基于堇青石（2MgO-2Al 2 O 3 -5SiO 2 ）陶瓷的超低熱膨脹陶瓷。它在室溫附近表現(xiàn)出零膨脹，是一種比低熱膨脹玻璃具有更高強(qiáng)度和剛性的材料。可以創(chuàng)建以前不可能的復(fù)雜形狀。
零熱膨脹
它在室溫附近幾乎為零膨脹。
高老化穩(wěn)定性和熱穩(wěn)定性
隨著時間的推移，尺寸變化極小，并且熱膨脹系數(shù)和尺寸相對于溫度變化的再現(xiàn)性非常好。
重量輕、剛性高
與一般低熱膨脹玻璃相比，其剛性約為1.5倍。
可實(shí)現(xiàn)精密鏡面加工
由于它是無孔材料，因此可以通過研磨或拋光將其加工成鏡面。
近終形燒成技術(shù)
通過預(yù)燒制處理可以實(shí)現(xiàn)近凈燒制，從而可以以低成本制造復(fù)雜的結(jié)構(gòu)。
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測量儀器參考裝置概述
光學(xué)鏡概述
| 產(chǎn)品編號 | N113B | N117B | N118C | N119C | CD107 | |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 顏色 | 黑色的 | 黑色的 | 藍(lán)灰色 | 淺藍(lán) 灰色 | 藍(lán)灰色 | |
| 堆積密度 | 克/立方厘米 | 2.5 | 2.55 | 2.58 | 2.5 | 2.57 |
| 彎曲強(qiáng)度 | 兆帕 | 210 | 230 | 220 | 166 | 230 |
| 楊氏模量 | GPa | 130 | 140 | 140 | 130 | 143 |
| 比剛度 | GPa/(克/立方厘米) | 52 | 55 | 54 | 52 | 55 |
| 斷裂韌性值 | 兆帕·米1/2 | 1.2 | 1.2 | 1.4 | 1.3 | 1.4 |
| 硬度 | GPa | 8.0 | 8.1 | 8.1 | 8.0 | - |
| 熱膨脹系數(shù) | X10 -6 /℃ 23℃ | < 0.03 | < 0.03 | < 0.05 | < 0.05 | < 0.03 （22℃時測定） |
| 導(dǎo)熱系數(shù) | 瓦/米克 | 3.7 | 4.2 | 4.5 | 4.3 | 4.7 |
| 相對介電常數(shù) | (1兆赫) | 4.7 | 6.0 | 4.7 | 4.4 | 4.6 |
*所列數(shù)據(jù)為典型值，并非保證值。
