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磁控離子濺射儀MSP-1S的檢測示例分析

發(fā)布日期：2022-11-30 瀏覽次數：913

　　磁控離子濺射儀MSP-1S的檢測示例分析

　　Au：金

　　觀察區(qū)域：幾千到10,000倍

　　Au-Pd：金鈀

　　觀察區(qū)域：10,000到50,000倍

　　適合低倍觀察，對比度好。

　　Pt：鉑

　　觀察面積：50000～100000倍

　　Pt--Pd：鉑鈀

　　觀察面積：30000～50000倍

　　粒徑細，常用于高倍觀察。

　　相關產品特點

　　●磁控型濺射，采用較低外加電壓減輕樣品的離子損傷。

　　●真空度調節(jié)：適合磁控離子濺射的真空度是 6-8Pa,MSP-1S 通過機械泵抽泣與泄露閥漏氣的平衡，使樣品倉自動保持在適合的真空度范圍內，不需要手動做壓力調整。

　　●浮動樣品臺設計：樣品臺是浮動型并與樣機電機絕緣，可讓電子不通過樣品而使溫度上升很少。

　　●占地面積：臺式設計，內置機械泵，只需要有 20cm×40cm 的占地面積，重量只有 14.6Kg。

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