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日本朝日分光光學(xué)膜厚儀OMD-1000產(chǎn)品介紹
這是一種分光膜厚監(jiān)測監(jiān)視器，可在氣相沉積過程中用單色光監(jiān)測基板上的光量變化。也用于本公司自有的薄膜蒸鍍裝置，作為蒸鍍部件制造商的專有技術(shù)，作為膜厚監(jiān)測裝置完成。
以往機型的波長選擇是濾光片型，但新產(chǎn)品搭載了本公司業(yè)績良好的分光器，現(xiàn)在可以選擇任意波長。
膜厚變化信號由電壓輸出轉(zhuǎn)為與個人電腦兼容的數(shù)字輸出，控制機構(gòu)由手動操作轉(zhuǎn)為個人電腦指令控制。此外，通過I/F直接與個人電腦連接，可以控制膜厚計主體，是一個非常緊湊的系統(tǒng)，不需要像其他制造商那樣的控制器。
帶光譜儀的緊湊型設(shè)計
通過提高抗噪性實現(xiàn)高度可靠的膜厚監(jiān)測（靜電放電測試耐壓±5 kV）
可通過來自 PC 的命令進(jìn)行自動控制
通過將控制器集成到接收器主體中實現(xiàn)高性價比
| 模型 | OMD-1000 |
| 光譜儀類型 | Czerny Turner 型單色 |
| 波長范圍 | 保證范圍：380 至 900 nm 可操作 范圍：350 至 1100 nm |
| 波長分辨率 | 狹縫 0.5mm：4.2nm [546nm] 狹縫 1.0mm：8.3nm [546nm] |
| 波長精度 | ± 1.0 納米 |
| 小波長饋電 | 0.1nm |
| 外部控制 | RS232C |
| 外部輸出端子 | DC0-2V（滿量程） |
| 采樣間隔 | 100ms 或更多 |
| 靜電放電試驗?zāi)蛪?/span> | ±5kV（實際8kV） |
| 光源 | 12V100W鹵素?zé)?/span> |
| 光強度穩(wěn)定性 | ±0.1%/小時以下 |
| 輸入電壓 | AC100V 50 / 60Hz |
| 允許輸入電壓 | AC85-132V |
| 視在功率 | 340VA以下 |
| 使用環(huán)境 | 溫度10-35℃ 濕度20-80% |
