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適用鎳，鉻，鎢，鈦，鋁等金屬涂布的實驗涂布機

發布日期：2021-05-27 瀏覽次數：1388

適用鎳，鉻，鎢，鈦，鋁等金屬涂布的實驗涂布機

特征

直流濺射類別中系列中小的超緊湊機型
配備皮拉尼真空計，以確保成膜條件的可重復性
配備手動百葉窗作為標準裝備
使用的樣品臺和載物臺可以輕松更改TS之間的距離。
由于可以涂鎢，因此也可以用于制備高分辨率SEM的樣品。

應用/結果示例

各種設備的電極膜附件
用于制造反射薄膜等的應用

基本規格

陰極	φ2英寸直流磁控管/平板型電極
適用對象	金/鉑/金-鈀/鉑-鈀/銀/鈀/鎢/鎳/鉬/鉻/鈦/鋁
壓力測量	皮拉尼真空計
壓力控制	針閥手動控制引入直徑外徑φ6mm一鍵式安裝
工藝氣體	氬氣
真空泵	直聯式旋轉泵：20L / min（帶自動泄漏）
箱體尺寸	內徑φ90×D90mm（SUS制）
樣品交換方法	前門開合式
尺寸（寬/深/高）	機身：160/450 / 290mm RP：295.5 / 156 / 199.5mm
重量	身體：9公斤RP：9公斤

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