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替代傳統特氟龍制造熱交換器的鈦制造熱交換器
由于材料是鈦，與特氟龍相比，可以得到非常大的熱交換效率。
利用緊湊且所需的冷卻水量較少的優點，即使在設備局部線路上控制水溫，由于安裝空間小，這也是一個巨大的優點。
價格也比特氟龍制造的要低，可以以低成本提供。
可以替代傳統的特氟龍制造的熱交換器使用。
由于不純物和金屬離子的溶解極少（保持在TOC 10ppb的水平），因此與特氟龍制造的熱交換器具有同等的清潔度。
（在多家半導體制造設備制造商中都有實績。）
臭氧水也可以正常使用。
通過世界的鈦合金燒結超級清潔制造方法，利用鈦制造的燒結專用技術開發了原創熱交換器，該技術適用于部件和連接材料。
成功實現了從傳統的特氟龍熱交換器大幅縮小的尺寸。
由于體積縮小，變得輕便且不占空間，便于安裝。
在TOC=10ppd的情況下，達到超級清潔。實現了無污染！
非電阻=15MΩ以上でクリア。
1. 價格便宜
2. 非常緊湊
3. 降低冷卻水的流量（使用量）（節能）
4. 在冷卻水溫度和接近的水溫下，可以提取超純水
(最大溫差2°C以內)
| 機種?型號 | TBS-MT05 | TBS-MT07 | TBS-MT11 | TBS-MT21 | TBS-LT21 | TBS-LT41 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 尺寸L×W×H | 310×90×25 | 310×90×33 | 310×90×47 | 310×90×82 | 580×150×80 | 580×150×156 |
| 回路數(高溫/低溫) | 5（2/3） | 7（3/4） | 11（5/6） | 21（10/11） | 21（10/11） | 41（20/21） |
| 傳熱面積(平方米) | 0.085 | 0.128 | 0.213 | 0.427 | 1.388 | 2.776 |
| 設計壓力(MPa) | 2兆帕 | |||||
| 設計溫度(°C) | -196°C~+200°C | |||||
| 流量(升/分鐘) | 2~16 | 2~24 | 2~40 | 2~80 | 10~200 | 10~400 |
| 本體質量(kg) | 1.35 | 1.65 | 2.26 | 3.8 | 11.4 | 21.5 |
