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半導(dǎo)體制造中為什么需要檢測露點(diǎn)？
水可能是所有生命的基礎(chǔ)，但當(dāng)涉及到半導(dǎo)體制造等專業(yè)過程時(shí)，它通常是過程中不想要的化合物之一。
水蒸氣的存在不僅在技術(shù)方面，而且對商業(yè)成果都有非常重要的影響。即使是很少量的水蒸氣也會在晶片表面帶入雜質(zhì)或?qū)е卵趸瑥亩鴷Π雽?dǎo)體器件的電特性產(chǎn)生不利影響。
這可能導(dǎo)致生產(chǎn)效率降低、生產(chǎn)成本增加和制造時(shí)間延長，直接影響盈利能力和市場競爭力。
在光刻、沉積和蝕刻等關(guān)鍵工藝過程中，對濕度和水蒸氣的精確控制對于保持半導(dǎo)體層的結(jié)構(gòu)完整性和實(shí)現(xiàn)所需的產(chǎn)品質(zhì)量至關(guān)重要。水蒸氣的有效管理不僅對于維護(hù)半導(dǎo)體器件所需的高性能標(biāo)準(zhǔn)和可靠性至關(guān)重要，而且對于確保高效的生產(chǎn)工藝、有力地減少浪費(fèi)和保持強(qiáng)大的市場競爭地位也至關(guān)重要。
TEKHNE公司是一家擁有40年露點(diǎn)測量的日本制 造商，生產(chǎn)創(chuàng)新的TK-100系列濕度儀。 測量方便，帶有顯示屏的TK-100在線式濕度儀能 連續(xù)測量，你所需要的是100～240VAC電源和樣氣接 口。此外，你也可以選擇TK-100露點(diǎn)傳感器，單獨(dú)使 用4～20mA信號輸出供電18～28VDC。
簡 便
TEKHNE公司是一家擁有40年露點(diǎn)測量的日本制 造商，生產(chǎn)創(chuàng)新的TK-100系列濕度儀。 測量方便，帶有顯示屏的TK-100在線式濕度儀能 連續(xù)測量，你所需要的是100～240VAC電源和樣氣接 口。此外，你也可以選擇TK-100露點(diǎn)傳感器，單獨(dú)使 用4～20mA信號輸出供電18～28VDC。
高 品 質(zhì)
TEKHNE的氧化鋁陶瓷傳感器能保證最佳精度， 快速響應(yīng)以及長期穩(wěn)定性。大多數(shù)先進(jìn)的傳感器技術(shù) 均應(yīng)用于此。 此外，先進(jìn)的微處理器技術(shù)實(shí)現(xiàn)全溫度補(bǔ)償，將 處理溫度到露點(diǎn)測量值的影響最小化。通過TK-100傳 感器把-80～+20℃露點(diǎn)輸出轉(zhuǎn)換為穩(wěn)定的和線性的 4～20mA輸出。
靈 活 性
TEKHNE的TK-100系列用于空氣或惰性氣體的露 點(diǎn)測量。把傳感器通過選件取樣座由5/8" UNF或1/8" NPT接入到你的處理線上。1/8 DIN顯示屏可在距離傳 感器1000米遠(yuǎn)處設(shè)置。 處理線的流量必須設(shè)定為1～10NL/分（帶選件取 樣座）或0.5～10m/秒（不帶選件取樣座）溫度范圍 -20～+60℃，壓力可達(dá)30MPa。建議安裝過濾器濾去 灰塵。
手套箱內(nèi)的露點(diǎn)控制
干燥機(jī)露點(diǎn)檢查
熱處理爐內(nèi)氣氛控制
潔凈室和干燥室的露點(diǎn)管理
氣體純度控制
天然氣水分管理
半導(dǎo)體制造設(shè)備
有機(jī)EL制造
