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適用于 6 英寸晶圓和掩模的長壽命緊湊型準分子 VUV 172nm 光源

發布日期：2024-05-12 瀏覽次數：623

適用于 6 英寸晶圓和掩模的長壽命緊湊型準分子 VUV 172nm 光源

空氣冷卻緊湊型準分子燈單元，光長160mm，專為VUV 172波長的照射而設計，具有簡單的系統結構，可實現低溫精密處理。

緊湊型準分子UV172nm光源型號E500-172-160

與 6" 晶圓和掩模基板兼容的燈。其特點包括簡單緊湊的結構、高度可靠的空氣冷卻以及無需更換燈管的長壽命準分子燈。 *1 電源為 AC100V。

特點長壽命風冷準分子燈。無需更換燈管

　　　　本來，準分子紫外線燈的結構是燈泡內部沒有電極，因此理論上它們被認為是長壽命燈，在國外有時被稱為準分子燈。然而，如今追求高照度的準分子燈由于燈管材料更輕、更薄、燈管溫度更高以及紫外線能量導致的玻璃變形，往往導致燈管壽命較短，從而導致成本較高。

*1 根據多年的現場經驗和結果，Excimer Co., Ltd. 的風冷緊湊型準分子燈需要定期更換外部電極、高壓電纜和高壓部件作為維護的一部分，但無需更換昂貴的燈管本身。我們實現了低成本和高可靠性。

特征

風冷式，安裝方便。
燈管燈長160mm
電源 AC100V 50/60Hz
瞬時開/關燈功能。
適合研究和開發。

應用領域

表面潤濕性和改性
光化學
反應性OH自由基過程
抗蝕劑去除
UV O3工藝

準分子紫外光處理的工藝原理

規格

波長	172納米
燈長	160毫米（燈箱型）
功能	立即開/關燈
燈箱尺寸（燈箱類型）	寬200×高45×深80毫米
電源尺寸（燈箱類型）	寬250×高140×深200毫米
力量	交流100V 60Hz 1A
奧普廷斯	臭氧過濾器、工藝氣體供應裝置

*由于采用緊湊型風冷設計，連續點亮時間在10分鐘以內。

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