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excimer紫外線172nm準分子燈的特性及應用
在工業應用中，常用的準分子波長是 172 nm。其 7.23 eV 的能量足以直接裂解有機分子的所有主要鍵，但碳和氧 (C=O) 之間的鍵和一些無機氧化物之間的鍵除外。這使其成為表面改性、光清洗、光固化的選擇。
風冷緊湊型準分子燈單元，燈長160mm，該單元專為VUV 172波長的照射而設計，系統結構簡單，具有低成本、高性能的特點，準分子UV燈可實現低溫精密處理。
緊湊型準分子UV172nm UV光源是兼容6"晶圓和掩模基板的燈。其特點是簡單緊湊、高可靠性風冷型、無需更換燈管的長壽命準分子燈。*1電源為AC100V。
特點
長壽命風冷準分子燈。無需更換燈管
本來，準分子紫外線燈的結構是燈泡內部沒有電極，因此理論上它們被認為是長壽命燈，在國外有時被稱為準分子燈。然而，如今追求高照度的準分子燈由于燈管材料更輕、更薄、燈管溫度更高以及紫外線能量導致的玻璃變形，往往導致燈管壽命較短，從而導致成本較高。
根據多年的現場經驗，Excimer Co., Ltd.的風冷緊湊型準分子燈需要定期更換外部電極、高壓電纜和高壓部件，但不需要更換內部電極。燈管本身，實現低成本和高可靠性。*1
特征
風冷方式，安裝方便。
燈管燈長160mm
電源 AC100V 50/60Hz
瞬時開/關燈功能。
適合研究和開發。
應用領域
表面潤濕性和改性
光化學
反應性OH自由基過程
抗蝕劑去除
UV O3工藝
準分子燈功能應用
1、增加表面能量和親水性
雖然聚合物和其他復合材料的表面輻照可能是準分子常用的用途，但這種處理也幾乎適用于任何表面。將準分子技術應用于硅晶片、金屬和玻璃時，清潔、涂層和粘合也可以得到顯著改善。
圖表展示了玻璃、礦物和聚合物類型的例子，可以使用準分子技術結合。
2、更廣泛的應用范圍
在某些情況下，可以實現親水化，其中整個表面變得潤濕。此時，液體的接觸角達到零度，將液滴轉化為液膜。目前，準分子燈正用于生態學、光化學、光生物學、醫學、物理學、微電子學以及包括智能制造工業在內的各種工業分支等等。
圖：銅、鋁、硅的在準分子燈照射下接觸角變化
