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ulvac電離真空計故障排除
由于靈敏度是用氮氣校準的，如果殘余氣體的主要成分不是氮氣，它將顯示與實際壓力不同的值。
在測量含有氧氣和水蒸氣的氣體時，燈絲會發生嚴重的反應和劣化。
必須使用較低的發射電流來減少磨損，或者在表面上使用三重涂層的燈絲。
當測量低于 10-4Pa 的壓力時，必須對測量元件本身進行脫氣。
當開始脫氣時，由于大量排放的氣體，壓力增加，相反，它可能會污染測量設備。 確保在 10-4Pa 或更低的范圍內脫氣。
如果產品在高壓下連續使用（三極管類型：10-1Pa或更高），燈絲會嚴重磨損，無法獲得恒定的發射電流。
1.測量裝置的燈絲不亮
2. 測量裝置的燈絲發出異常光（比平時更亮）
3. 燈絲點亮但不顯示壓力4. 燈絲亮了一會兒，但很快就消失了
5.讀取值搖擺不定
6.指示值與預期壓力明顯不同
7.無設定點信號輸出
| 原因 | 怎么辦 |
|---|---|
| 斷絲 | 更換測量儀器 |
| 斷開測量儀電纜 | 維修、更換測量儀電纜 |
| 由于高壓 | 使用皮拉尼真空計檢查壓力 |
| 燈絲選擇開關配置錯誤 | 選擇合適的燈絲 |
| 原因 | 怎么辦 |
|---|---|
| 斷開測量儀電纜 | 維修、更換測量儀電纜 |
| 控制器故障 | 請求維修 |
| 測量裝置劣化 | 更換測量儀器 |
| 原因 | 怎么辦 |
|---|---|
| 斷開測量儀電纜 | 維修、更換測量儀電纜 |
| 控制器故障 | 請求維修 |
| 原因 | 怎么辦 |
|---|---|
| 保護電路工作是因為被測壓力很高 | 使用皮拉尼真空計檢查壓力 |
| 控制器故障 | 請求維修 |
| 原因 | 怎么辦 |
|---|---|
| 連接測量設備的連接處有真空泄漏 | 更換測量元件或改善連接處的真空泄漏 |
| 測量設備上的污垢 | 更換測量儀器 |
| 測量電纜正在振動 | 如果測量裝置電纜不斷振動，則測量單元電纜內部的摩擦力可能會導致指示值交錯，應重新考慮電纜安裝方法。 |
| 原因 | 怎么辦 |
|---|---|
| 發生漏電流 | 由于測量器上的污垢，測量設備電纜絕緣不良而更換 |
| ?靈敏度系數設置不同 ?被測氣體不是氮氣或空氣。 | 檢查手冊并正確設置 |
| 壓力真的和預期的不一樣 | 通過其他真空計確認 |
| 原因 | 怎么辦 |
|---|---|
| 更換控制器內繼電器 | 繼電器故障 → 請求維修 |
| 發射電流未正常。 | 當發射變為NG時，設定值信號的輸出也被取消。 →更換測量元件 |
| 原因 | 怎么辦 |
|---|---|
| 高壓（超過10-1帕）， | 檢查排氣系統 |
| 斷絲 | 更換測量儀器 |
| 長絲磨損 | 更換測量儀器 |
| 測量設備內部的污垢 | 更換測量儀器 |
| 測量設備電纜接觸不良或斷開 | 重新連接或更換測量儀電纜 |
| 控制器中電源電路故障 | 請求維修 |
