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熱式質量流量計概述
| 1. 熱式質量流量計 |
| 質量流量計使用一種相對較新的測量原理，該原理近年來迅速普及，用于嚴格測量和可壓縮流體應用（例如氣體）作為考慮溫度和壓力的質量測量方法。質量流量計可大致分為科里奧利型和熱式。這次，我們將介紹我們的熱式質量流量計，主要用于測量除蒸汽以外的氣體的流量，以及我們的流量傳感器式質量流量計。 |
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| ■ 1.2. 熱式質量流量計的分類 |
| 按測量傳感器分層主要有毛細管式、熱線式、半導體式（流量傳感器式）。 |
| (1)毛細管式 |
| 這是一種猜測型測量方法，其中在稱為層流元件的整流部分設置旁路通道以測量流量。目前這種原理在熱式流量計中最為常見，主要用于半導體制造過程中的氣體控制。 由于氣體與傳感器部分不直接接觸流體，因此可以測量腐蝕性氣體，氣體接觸面可用電解拋光等方法清洗。另一方面，層流元件的壓力損失大，無法測量低壓氣體，也有特性變大的缺點。 |
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圖1-1 氣體微流量流量計 |
| (2) 熱線流量計 |
| 由于成本合理，該原則近年來發(fā)展迅速。該方法使用熱線（加熱器）和安裝在管道中的溫度傳感器測量流速。過去，直管因為需要整流機構而被認為較長，但現(xiàn)在也開發(fā)了內(nèi)置整流機構的絲網(wǎng)型和蜂窩型，也出現(xiàn)了一些不需要直管的產(chǎn)品。擅長測量較高流速范圍，廣泛用于測量壓縮空氣、氮氣等流速相對于管徑較大的氣體。 |
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圖 1-2 從小到大氣體流量的流量計 |
| (3) 熱電偶型 |
| 也叫熱電堆式，字面意思是只測量熱電偶的溫度變化。測量通常在相對高速的范圍內(nèi)進行，并且使用許多方法，其中熱電偶以類似于上述毛細管類型的結構直接插入傳感器部分。主要用于測量高流速和大流量。 |
| (4) 流量傳感器類型 |
| 這是熱方法中最新的方法。傳感器部分是由硅晶片形成的半導體型流量傳感器，由于元件微小，熱容量小，因此測量范圍比熱式更寬。原則上可以進行雙向流量測量，功耗低到可以用電池驅動。 |
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圖 1-4.1 微型流量傳感器芯片 |
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圖1-4.2 微流量傳感器測量原理（AA'截面） |
