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SiC多晶的熱射流率分布均勻性評估

發布日期：2022-07-25 瀏覽次數：1065

SiC多晶的熱射流率分布均勻性評估

測定了SiC多晶(陶瓷)的熱擴散率分布，將燒結體微米量級的熱擴散率分布可視化。此外，可以測量作為寬帶隙材料的 GaN 和金剛石。

各種材料的熱物理特性（熱導率/熱射流率）的分布測量已成為可能，分辨率為微米級。通過評估材料中的熱性能（導熱率/熱流出率）分布，可以預期高導熱材料的特性將得到顯著改善。

碳化硅材料導熱系數 [Wm -1 K -1 ]

熱射流率 [Js -0.5 m -2 K -1 ]

4H-C 碳化硅44030,400

6H-C SiC單晶36628,100

碳化硅單晶27424,200

AlN的熱射流率分布評估

可以確認，AlN 的壓痕部分的熱擴散率低。

用熱顯微鏡TM3評價材料的熱射流均勻性

金屬玻璃的熱射流率分布評價

金屬玻璃的均勻性可以通過測量熱射流率的分布來確認。

用熱顯微鏡TM3評價材料的熱射流均勻性

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